機器消耗品市場

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商品NO	1031	商品名	UHV複合型チャンバー（水冷式）	メーカー	（株）スプリード	管理	（株）スプリード
		型式	UHV複合型チャンバー（水冷式）	価格		商品問合せ
特徴	•EB、セル対応チャンバー •チャンバー水冷式 • 交換室の増設ポート付で汎用性が高いチャンバー					カタログ
仕様	SUS304 表面処理：バフ研磨+電解研磨リーク量：1.33x10-11Pa以下フランジ数：ICF203×1　下部ICF253×1 ICF152×2　ICF114×4　ICF70×4 カスタマイズ可
備考				管理NO

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